Próiseáil phróiseáil chomhdhúile sileacain
Faoi láthair, is iad na modhanna snasaithe de chomhdhúile sileacain ná: snasú meicniúil, snasú maighnéadaiteolaíoch, snasú meicniúil ceimiceach (CMP), snasú leictriceimiceach (ECMP), snasú le cúnamh catalaíoch nó eitseáil le cúnamh catalaíoch (CACP / CARE), agus snasú tribocheimiceach (TCP ). , ar a dtugtar snasú neamh-scríobach agus snasú le cúnamh plasma (PAP) freisin.
Is modh tábhachtach próiseála leathsheoltóra í teicneolaíocht snasaithe mheicniúil cheimiceach (CMP) faoi láthair, agus is í an próiseas is éifeachtaí chun dromchla sileacain criostail aonair a phróiseáil go leibhéal adamhach. Is é an t-aon bhealach praiticiúil é chun pleanáil áitiúil agus domhanda a bhaint amach go comhuaineach sa phróiseas. teicneolaíocht.
Is é ráta imoibriúcháin cheimiceach dhromchla an tsaothair a shocraíonn éifeachtacht próiseála CMP. Trí staidéar a dhéanamh ar thionchar na bparaiméadar próisis ar ráta snasaithe na n-ábhar SiC, léiríonn na torthaí go bhfuil éifeachtaí an ráta uainíochta agus an bhrú snasaithe mór; is beag éifeacht a bhíonn ag an teocht agus ag luach pH an tuaslagáin snasaithe. D'fhonn ráta snasaithe an ábhair a mhéadú, ba cheart an luas uainíochta a mhéadú a oiread agus is féidir. Cé go méadaítear an brú snasaithe chun an ráta bainte a mhéadú, is furasta damáiste a dhéanamh don eochaircheap snasaithe.
Is é an modh snasaithe cairbíde sileacain atá ann faoi láthair ná na fadhbanna a bhaineann le ráta bainte ábhair íseal agus costas ard, agus tá na modhanna próiseála amhail snasú gráin scríobach agus próiseáil chúnta catalaíoch fós sa tsaotharlann mar gheall ar na dálaí éilitheacha agus oibriú casta na feiste. Ní dócha go mbainfear olltáirgeadh amach.
Don chéad uair i 1905, fuair daoine amach cairbíd sileacain i dreigítí. Anois as sintéis shaorga den chuid is mó, is iomaí úsáid a bhaintear as cairbíd sileacain. Tá réise mór ann agus is féidir é a úsáid i dtionscal gréine fótavoltach, ar nós sileacain mhonacrystalline, sileacain polycrystalline, arsenide potaisiam, criostail Grianchloch, etc. Tionscal leathsheoltóra, tionscal criostail piezoelectric ábhair phróiseála innealtóireachta
